A metrology system includes a sample holder and a backside reflective
element. The backside reflective element causes light that is transmitted
through the sample to be reflected and transmitted a second time, in the
opposite direction, through the sample. A variable collection range can be
adjusted to place the sample, the reflective element or both within the
collection range. The collection range is the range of focused light that
will be detected. The system can be controlled to move one or both of the
sample and the reflective element in or out of the collection range or to
alter the optics to adjust the collection range so that one or both of the
sample and reflective element are in the collection range. Thus, the
metrology system can be configured to operate in reflectance mode,
transmittance mode or a mixed reflectance/transmittance mode.
Ein Metrologiesystem schließt einen Beispielhalter und ein Rückseite reflektierendes Element ein. Das Rückseite reflektierende Element verursacht Licht, das durch die reflektiert zu werden übertragen wird Probe und übertrug ein zweites Mal, in der entgegengesetzten Richtung, durch die Probe. Eine variable Ansammlung Strecke kann justiert werden, um die Probe, das reflektierende Element oder beide innerhalb des Ansammlung Bereiches zu setzen. Die Ansammlung Strecke ist die Strecke des fokussierten Lichtes, die ermittelt wird. Das System kann gesteuert werden, um ein oder beide der Probe und des reflektierenden Elements oder aus in der Ansammlung Strecke heraus zu verschieben oder die Optik zu ändern, um die Ansammlung Strecke zu justieren, damit eine oder beide der Probe und des reflektierenden Elements in der Ansammlung Strecke sind. So kann das Metrologiesystem zusammengebaut werden, um im Reflexionsvermögen-Modus, im Beförderungmodus oder in einem Mischreflectance/transmittance Modus zu funktionieren.
