In accordance with the present invention, a method and system is described
for controlling the delivery of vapor from a bubbler containing a supply
of chemical fluid through which a carrier gas is bubbled and from which
bubbler vapors are delivered in a vapor stream entrained with the carrier
gas. In general, the present invention involves equilibrating the
pressure within the head space to that of the chemical fluid fill line,
thus maintaining a constant fluid level based on pressure and not relying
on conventional level sensors and controllers.
В соответствии с присытствыющим вымыслом, метод и система описаны для контролировать поставку пара от барботера содержа поставку химически жидкая сквозной которая газу несущей клокочут и от которые пары барботера поставлены в потоке пара entrained с газом несущей. В общем, присытствыющий вымысел включает эквилибрировать давление внутри головной космос к той из химически жидкой линии заполнения, таким образом поддержать постоянн жидкий уровень основанный на давлении и не положиться на обычных ровных датчиках и регуляторах.
