An apparatus and method for abating toxic and/or hazardous gas species in a
diluent gas stream line deriving from a by-pass line of a semiconductor
process tool, comprising contacting the diluent gas stream with a dry
resin sorbent material having an affinity for the toxic and/or hazardous
gas species to effect the removal of at least a portion of the toxic
and/or hazardous gas species by a chemisorbent or physisorbent reaction
between the sorbent bed and the toxic gas component effectively reduces
the concentration of the toxic gas component in the process diluent stream
to below TLV.
Een apparaat en een methode voor verminderende giftige en/of gevaarlijke gassoorten in een de stroomlijn die van het verdunnergas uit een omleidingslijn voortkomt van een halfgeleider verwerken hulpmiddel, bestaand uit contacterend de stroom van het verdunnergas met een droog materiaal dat van het harsabsorberende middel een affiniteit voor de giftige en/of gevaarlijke gassoorten heeft om de verwijdering uit te voeren van minstens een gedeelte giftige en/of gevaarlijke gassoorten door een chemisorbent of physisorbent reactie tussen het absorberend middelbed en de giftig gascomponent vermindert effectief de concentratie van de giftig gascomponent in de stroom van de procesverdunner tot onderstaande TLV.
