A positive photosensitive composition comprising (A) a compound capable of
generating a fluorine-substituted alkanesulfonic acid having 2 to 4 carbon
atoms by irradiation of actinic rays or radiation, (B) a resin having a
monocyclic or polycyclic alicyclic hydrocarbon structure and being
decomposed by the action of an acid to increase solubility in an alkali
developer, (C) a basic compound, and (D) a fluorine and/or silicon
surfactant.
Μια θετική φωτοευαίσθητη σύνθεση που περιλαμβάνει (A) μια ένωση ικανή ένα φθόριο-αντικατασταθέν alkanesulfonic οξύ που έχει 2 έως 4 άτομα άνθρακα από την ακτινοβολία των ακτινικών ακτίνων ή την ακτινοβολία, (B) μια ρητίνη που έχει μια monocyclic ή πολυκυκλική αλεικυκλική δομή υδρογονανθράκων και που αποσυντίθεται από τη δράση ενός οξέος για να αυξηθεί η διαλυτότητα σε έναν αλκαλικό υπεύθυνο για την ανάπτυξη, (C) μια βασική ένωση, και (D) ένα μέσο επιπολής φθορίου ή/και πυριτίου.
