A microelectromechanical system (MEMS) based sensor comprises: a substrate
defining a plane; a first conductive material layer having a first stress,
a first portion of the first conductive material layer being connected to
the substrate and extending in a substantially parallel direction to the
plane defined by the substrate and a second portion being disconnected
from the substrate and extending in a substantially non-parallel direction
to the plane defined by the substrate; and a sensor material layer formed
over at least the second portion of the first conductive material layer,
the sensor material layer having a second stress that is less than the
first stress of the first conductive material layer. The stresses form a
stress gradient that bends the second portion of the first conductive
material layer and the sensor material layer formed over the second
portion of the first conductive material layer away from the substrate.
Een microelectromechanical systeem (MEMS) gebaseerde sensor bestaat uit: een substraat dat een vliegtuig bepaalt; een eerste geleidende materiële laag die een eerste spanning, een eerste gedeelte van de eerste geleidende materiële laag die heeft met het substraat wordt verbonden en zich in een wezenlijk parallelle richting tot het vliegtuig uitbreidt dat door het substraat wordt bepaald en een tweede gedeelte dat van het substraat wordt losgemaakt en zich in een wezenlijk niet-parallelle richting tot het vliegtuig uitbreidt dat door het substraat wordt bepaald; en een sensor materiële laag die meer dan minstens het tweede gedeelte van de eerste geleidende materiële laag, de sensor materiële laag wordt gevormd die een tweede spanning heeft die minder dan de eerste spanning van de eerste geleidende materiële laag is. De spanningen vormen een spanningsgradiënt die het tweede gedeelte van de eerste geleidende materiële laag buigt en de sensor materiële laag die meer dan het tweede gedeelte van de eerste geleidende materiële laag vanaf het substraat wordt gevormd.
