A method for providing distributed material management and flow control in
an integrated circuit (IC) factory. The IC factory comprises a factory
stocker, a plurality of process bays and a factory transport agent for
moving wafer cassettes between the bay and the stocker. Each of the bays
comprises a bay stocker, a plurality of tools, a mini-stocker and a bay
transport agent for moving wafers amongst the bay components. The
apparatus uses partitioned stockers to facilitate deadlock avoidance or
deadlock resolution. Additionally, various algorithms are used to detect
wafer cassette movement situations where deadlocks may result from a wafer
cassette movement within a bay and for resolving deadlocks when they
occur.
Eine Methode für das Zur Verfügung stellen der verteilten Materialwirtschaft und der Steuerung des Datenflusses in einer Fabrik der integrierten Schaltung (IS). Die IS-Fabrik enthält ein Fabrik stocker, eine Mehrzahl von den Prozeßbuchten und ein Fabriktransportmittel für bewegliche Oblatekassetten zwischen der Bucht und dem stocker. Jede der Buchten enthält ein Bucht stocker, eine Mehrzahl von den Werkzeugen, ein Mini--stocker und Buchttransportmittel für bewegliche Oblaten unter den Buchtbestandteilen. Der Apparat verwendet verteilte stockers, um Einriegelschloßvermeidung oder Einriegelschloßauflösung zu erleichtern. Zusätzlich werden verschiedene Algorithmen verwendet, um Oblatekassette Bewegung Situationen zu ermitteln, in denen Einriegelschlösser aus einer Oblatekassette Bewegung innerhalb einer Bucht und für behebende Einriegelschlösser resultieren können, wenn sie auftreten.
