Optical system and exposure apparatus provided with the optical system

   
   

An optical system attains good optical performance without substantially receiving the effects of birefringence even when using an optical material having intrinsic birefringence. An optical system that includes at least one radiation transmissive member that transmits light having a wavelength of 200 nm or less has an optical axis that substantially coincides with a crystal axis [100] or a crystal axis optically equivalent to the crystal axis [100]. In addition, an optical system can include: a first group of radiation transmissive members that transmits light having a wavelength of 200 nm or less and having an optical axis that substantially coincides with a crystal axis [100] or a crystal axis optically equivalent to the crystal axis [100]; and a second group of radiation transmissive members that transmits light having a wavelength of 200 nm or less and having an optical axis that substantially coincides with a crystal axis [100] or a crystal axis optically equivalent to the crystal axis [100]; wherein the first group of radiation transmissive members and the second group of radiation transmissive members have a positional relationship rotated substantially 45.degree. about the optical axis relative to each other.

Un sistema ottico raggiunge le buone prestazioni ottiche senza sostanzialmente ricevere gli effetti della birifrangenza anche quando usando un materiale ottico che ha birifrangenza intrinseca. Un sistema ottico che include almeno un membro transmissive di radiazione che trasmette la luce che ha una lunghezza d'onda di 200 nm o di meno ha un asse ottico che coincide sostanzialmente con un asse di cristallo [ 100 ] o di asse un equivalente di cristallo otticamente all'asse di cristallo [ 100 ]. In più, un sistema ottico può includere: un primo gruppo dei membri transmissive di radiazione che trasmette la luce che ha una lunghezza d'onda di 200 nm o di di meno ed avendo un asse ottico che coincide sostanzialmente con un asse di cristallo [ 100 ] o di asse un equivalente di cristallo otticamente all'asse di cristallo [ 100 ]; e un secondo gruppo dei membri transmissive di radiazione che trasmette la luce che ha una lunghezza d'onda di 200 nm o di di meno ed avendo un asse ottico che coincide sostanzialmente con un asse di cristallo [ 100 ] o di asse un equivalente di cristallo otticamente all'asse di cristallo [ 100 ]; in cui il primo gruppo dei membri transmissive di radiazione ed il secondo gruppo dei membri transmissive di radiazione hanno un 45.degree. sostanzialmente ruotato rapporto posizionale circa l'asse ottico relativo.

 
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