The present invention enables the quantification of line end shortening by
utilizing a pattern of multiple conductive paths, each conductive path can
include a conductor at each end, each conductor connected to a separate
contact with the contacts connected by a polysilicon conductor. The
conductors can vary in length by a constant increment from conductive path
to conductive path, beginning with a length that results in a significant
overlap at the contacts to a length that results in a significant underlap
at the contacts. Resistance measurements of each conductive path can be
made until a change either to or from an "open" occurs; this is the point
from which, using the constant increment, the LES can be characterized.
Η παρούσα εφεύρεση επιτρέπει τον προσδιορισμό της ποσότητας του περιορισμού τελών γραμμών με τη χρησιμοποίηση ενός σχεδίου των πολλαπλάσιων αγώγιμων πορειών, κάθε αγώγιμη πορεία μπορεί να περιλάβει έναν αγωγό σε κάθε τέλος, κάθε αγωγός που συνδέεται με μια χωριστή επαφή με τις επαφές που συνδέονται με έναν αγωγό πολυπυρίτιων. Οι αγωγοί μπορούν να ποικίλουν στο μήκος από μια σταθερή αύξηση από την αγώγιμη πορεία στην αγώγιμη πορεία, αρχίζοντας με ένα μήκος που οδηγεί σε μια σημαντική επικάλυψη στις επαφές σε ένα μήκος που οδηγεί σε ένα σημαντικό underlap στις επαφές. Οι μετρήσεις αντίστασης κάθε αγώγιμης πορείας μπορούν να γίνουν μέχρι μια αλλαγή είτε σε είτε από "έναν ανοικτό" εμφανίζονται αυτό είναι το σημείο από το οποίο, χρησιμοποιώντας τη σταθερή αύξηση, το LES μπορεί να χαρακτηριστεί.
