A process for producing hexachlorodisilane comprising, condensing an
exhaust gas discharged from a reactor for producing polycrystalline
silicon from a chlorosilane and hydrogen to separate the hydrogen,
distilling the resultant condensate to separate the unreacted chlorosilane
and by-product silicon tetrachloride, and then further distilling to
recover hexachlorodisilane, wherein tetrachlorodisilane can be recovered
together with the hexachlorodisilane, and the hexachlorodisilane and
tetrachlorodisilane recovered have a far higher purity than the
conventional ones produced from metallic silicon.
Μια διαδικασία για hexachlorodisilane τη συμπερίληψη, που συμπυκνώνει μια εξάτμιση που απαλλάσσεται αέριο από έναν αντιδραστήρα για την παραγωγή του πολυκρυσταλλικού πυριτίου από ένα chlorosilane και ένα υδρογόνο για να χωρίσει το υδρογόνο, που αποστάζει το επακόλουθο συμπύκνωμα για να χωρίσει το unreacted τετραχλωρίδιο πυριτίου chlorosilane και υποπροϊόντων, και να προαγάγει έπειτα την αποστάξη για να ανακτήσει hexachlorodisilane, όπου tetrachlorodisilane μπορεί να ανακτηθεί μαζί με το hexachlorodisilane, και το hexachlorodisilane και tetrachlorodisilane που ανακτάται έχει μια πολύ υψηλότερη αγνότητα από τις συμβατικές που παράγονται από το μεταλλικό πυρίτιο.
