This invention provides a structure and method for improved transmission
line operation on integrated circuits. One method of the invention
includes forming transmission lines in an integrated circuit. The method
includes forming a first layer of electrically conductive material on a
substrate. A first layer of insulating material is formed on the first
layer of the electrically conductive material. A pair of high permeability
metal lines are formed on the first layer of insulating material. The pair
of high permeability metal lines include composite hexaferrite films. A
transmission line is formed on the first layer of insulating material and
between and parallel with the pair of high permeability metal lines. A
second layer of insulating material is formed on the transmission line and
the pair of high permeability metal lines. And, the method includes
forming a second layer of electrically conductive material on the second
layer of insulating material.
Questa invenzione fornisce una struttura e un metodo per la linea migliorata funzionamento della trasmissione sui circuiti integrati. Un metodo dell'invenzione include formare le linee della trasmissione in un circuito integrato. Il metodo include formare un primo strato di materiale elettricamente conduttivo su un substrato. Un primo strato di materiale isolante è formato sul primo strato del materiale elettricamente conduttivo. Un accoppiamento delle linee alte del metallo di permeabilità è formato sul primo strato di materiale isolante. L'accoppiamento delle linee alte del metallo di permeabilità include le pellicole composite del hexaferrite. Una linea della trasmissione è formata sul primo strato di materiale isolante ed in mezzo e del parallelo con l'accoppiamento delle linee alte del metallo di permeabilità. Un secondo strato di materiale isolante è formato sulla linea della trasmissione e sull'accoppiamento delle linee alte del metallo di permeabilità. E, il metodo include formare un secondo strato di materiale elettricamente conduttivo sul secondo strato di materiale isolante.
