The present invention relates to a novel absorbing, photoimageable and
aqueous developable positive-working antireflective coating composition
comprising a photoacid generator and a polymer comprising at least one
unit with an acid labile group and at least one unit with an absorbing
chromophore. The invention further relates to a process for using such a
composition. The present invention also relates to a novel absorbing,
photoimageable and aqueous alkali developable positive-working
antireflective coating composition comprising a polymer comprising at
least one unit with an acid labile group, a dye and a photoacid generator.
The invention further relates to a process for using such a composition.
The invention also relates to a novel process for forming a positive image
with a positive photoresist and a novel photoimageable and aqueous
developable positive-working antireflective coating composition, where the
antireflective coating comprises a polymer comprising an acid labile
group. The invention further relates to such a composition. The invention
also relates to a process for imaging a photoimageable antireflective
coating composition.
La presente invenzione riguarda una composizione ricoprente antireflective difunzionamento developable assorbente, photoimageable ed acquosa nel romanzo che contiene un generatore del photoacid e un polimero che contengono almeno un'unità con un gruppo labile acido ed almeno un'unità con un cromoforo assorbente. L'invenzione ulteriore si riferisce ad un procedimento per usando una tal composizione. La presente invenzione inoltre si riferisce ad una composizione ricoprente antireflective difunzionamento developable nell'alcali assorbente, photoimageable ed acquoso del romanzo che contengono un polimero che contiene almeno un'unità con un gruppo labile acido, ad una tintura e ad un generatore del photoacid. L'invenzione ulteriore si riferisce ad un procedimento per usando una tal composizione. L'invenzione inoltre si riferisce ad un processo del romanzo per formare un'immagine positiva con una composizione ricoprente antireflective difunzionamento developable photoimageable ed acquosa nel romanzo e nel photoresist positivo, in cui il rivestimento antireflective contiene un polimero che contiene un gruppo labile acido. L'invenzione ulteriore si riferisce ad una tal composizione. L'invenzione inoltre collega ad un processo per formazione immagine una composizione ricoprente antireflective photoimageable.
