Micromachined passive alignment assemblies and methods of using and making
the same are provided. The alignment assemblies are used to align at least
one optical element. The alignment assemblies may be configured with
kinematic, pseudo-kinematic, redundant or degenerate support structures.
One alignment assembly comprises a base and a payload, which supports at
least one optical element. The payload may be coupled to the base via
connecting structures. The base, the payload and/or the connecting
structures may have internal flexure assemblies for preloading a
connection, thermal compensation and/or strain isolation.
Des alignements de Micromachined et les méthodes passifs d'employer et de faire la même chose sont fournis. Les alignements sont habitués pour aligner au moins un élément optique. Les alignements peuvent être configurés avec les structures de soutènement cinématiques, pseudo-cinématiques, superflues ou dégénérées. Un alignement comporte une base et une charge utile, qui soutient au moins un élément optique. La charge utile peut être couplée à la base par l'intermédiaire des structures se reliantes. La base, la charge utile et/ou les structures se reliantes peuvent avoir des flexures internes pour précharger un raccordement, une compensation thermique et/ou un isolement de contrainte.
