The electro-chemical machining apparatus of this invention is designed to
smoothing a metal film by efficiently reducing initial rough surface and
removing excessive metal film with reduced damages to the metal film. For
this end, the electro-chemical machining apparatus performs
electro-chemical machining of an object to be machined having a metal film
on the surface to be machined. Such apparatus has a means for holding the
object to be machined, a wiper for wiping the surface of the object to be
machined, a means for supplying electrolytic solution onto the surface of
the object to be machined, a first electrode disposed at a position
opposed to the surface of the object to be machined, a second electrode
disposed at a peripheral portion on the surface of the object to be
machined, and a power supply for causing electrical current to flow
between the second electrode on the surface of the object to be machined
and the first electrode.
Het elektrochemische het machinaal bewerken apparaat van deze uitvinding wordt ontworpen aan het gladmaken van een metaalfilm door aanvankelijke ruwe oppervlakte efficiënt te verminderen en bovenmatige metaalfilm met verminderde schade aan de metaalfilm te verwijderen. Voor dit eind, voert het elektrochemische het machinaal bewerken apparaat het elektrochemische machinaal bewerken van een machinaal te bewerken voorwerp uit hebbend een metaalfilm op de machinaal te bewerken oppervlakte. Dergelijk apparaat heeft een middel om het machinaal te bewerken voorwerp, een wisser voor het afvegen van de oppervlakte van het machinaal te bewerken voorwerp, een middel om elektrolytische oplossing op de oppervlakte van het machinaal te bewerken voorwerp te leveren, een eerste elektrode die bij een positie tegengesteld aan de oppervlakte van het machinaal te bewerken voorwerp wordt geschikt, een tweede elektrode die bij een randgedeelte op de oppervlakte van het machinaal te bewerken voorwerp wordt geschikt, en een machtslevering te houden voor het veroorzaken van elektrostroom om tussen de tweede elektrode op de oppervlakte van het machinaal te bewerken voorwerp en de eerste elektrode te stromen.
