A method and apparatus for calibrating a metrology tool are disclosed. The
method includes measuring a parameter of a contrast enhanced feature on an
artifact using a metrology tool, where the contrast enhanced feature
reduces random errors in the metrology tool during the measuring process.
The measured parameter is compared with an initial parameter associated
with the artifact and the metrology tool is adjusted until the measured
parameter matches the initial parameter.
Показаны метод и прибор для калибрировать инструмент метрологии. Метод вклюает измерять параметр характеристики увеличенной контрастом на артефакте использующ инструмент метрологии, где характеристика увеличенная контрастом уменьшает случайные ошибки в инструменте метрологии во время измеряя процесса. Измеренный параметр параметр сравнен при первоначально параметр связанный с артефактом и инструмент метрологии отрегулирован до тех пор пока измеренный параметр параметр не сопрягать первоначально параметр.
