The present invention provides an apparatus and method for a new class of
micro-machined electromechanical devices that make use of vibrating
membranes. The electromechanical devices include two or more electrodes
which are positioned with a membrane. A gap exists between the membrane
and each electrode which may vary for each electrode. In general, one
electrode is used as an input electrode which receives an electrical
signal that causes vibration of the membrane. The vibration of the
membrane is then coupled to a receiving or an output electrode. A DC bias
voltage is applied to the electrodes to set or modify a width of a gap in
the electromechanical device. The electromechanical device could be
designed as a transformer, a capacitor, a resonator or a filter. In
addition, the device includes a control voltage to dynamically change the
coupling between the input electrode and the output electrode(s).
La présente invention fournit un matériel et une méthode pour une nouvelle classe des dispositifs électromécaniques micro-usinés qui se servent des membranes vibrantes. Les dispositifs électromécaniques incluent deux électrodes ou plus qui sont placées avec une membrane. Un espace existe entre la membrane et chaque électrode qui peuvent changer pour chaque électrode. En général, une électrode est utilisée comme électrode d'entrée qui reçoit un signal électrique qui cause la vibration de la membrane. La vibration de la membrane est alors couplée à une réception ou à une électrode de rendement. Une tension de polarisation de C.C est appliquée aux électrodes à l'ensemble ou modifie une largeur d'un espace dans le dispositif électromécanique. Le dispositif électromécanique a pu être conçu comme transformateur, condensateur, résonateur ou filtre. En outre, le dispositif inclut une tension de commande pour changer dynamiquement l'accouplement entre l'électrode d'entrée et l'electrode(s) de rendement.
