The invention features an apparatus and a method for supplying ozonated
water to more than one process tool. Ozonated water of a first
concentration received from an ozonated water generator and water
received from a source are mixed to produce ozonated water of a second
concentration. The ozonated water of a second concentration is supplied
to a first process tool. Ozonated water from the ozonated water generator
is supplied to a second process tool while supplying the ozonated water
of the second concentration to the first process tool.
L'invention comporte un appareil et une méthode pour fournir ozonated l'eau à plus d'un outil de processus. L'eau d'Ozonated d'une première concentration reçue de l'ozonated le générateur de l'eau et l'eau reçue d'une source sont mélangées pour produire ozonated l'eau d'une deuxième concentration. Ozonated l'eau d'une deuxième concentration est fourni à un premier outil de processus. L'eau d'Ozonated du ozonated le générateur de l'eau est fournie à un deuxième outil de processus tandis que l'approvisionnement ozonated l'eau de la deuxième concentration au premier outil de processus.
