A positioning system, such as may be used to position a moveable object
table in three degrees of freedom. More particularly, the invention
relates to the use of the positioning system in a lithographic projection
apparatus including an illumination system for supplying a projection beam
of radiation, a first object table for holding a mask, a second, movable
object table for holding a substrate, and a projection system for imaging
an irradiated portion of the mask onto a target portion of the substrate.
Ένα τοποθετώντας σύστημα, όπως μπορεί να χρησιμοποιηθεί για να τοποθετήσει έναν κινητό πίνακα αντικειμένου σε τρεις βαθμούς ελευθερίας. Ειδικότερα, η εφεύρεση αφορά τη χρήση του τοποθετώντας συστήματος σε μια λιθογραφική συσκευή προβολής συμπεριλαμβανομένου ενός συστήματος φωτισμού για μια ακτίνα προβολής της ακτινοβολίας, έναν πρώτο πίνακα αντικειμένου για το κράτημα μιας μάσκας, έναν δεύτερο, κινητό πίνακα αντικειμένου για το κράτημα ενός υποστρώματος, και ένα σύστημα προβολής για την απεικόνιση μια ακτινοβολημένη μερίδα της μάσκας επάνω σε μια μερίδα στόχων του υποστρώματος.
