A first main body unit for supporting a substrate stage is supported at
four points by vibration isolators, and a second main body unit is
supported on the first main body unit at three points by second vibration
isolators. This allows the first main body unit and the substrate stage to
be supported stably with high rigidity, and for example, allows
maintenance on the stage portion from the back side of the apparatus,
which is not possible with the first main body unit supported at three
points. Further, the apparatus comprises vibration isolation units
connected in series in two platforms, which has a great effect of
suppressing background vibration from the floor surface. Accordingly,
exposure with high precision can be performed which improves the yield of
devices, and the reduced maintenance time can improve the operation rate,
consequently leading to an improvement in productivity of devices as end
products.
Первый блок основныа силы для поддерживать этап субстрата поддержан на 4 этапа амортизаторами вибрации, и второй блок основныа силы поддержан на первом блоке основныа силы на 3 этапа вторыми амортизаторами вибрации. Это позволяет первый блок основныа силы и этап субстрата, котор нужно поддержать стабилизированно с высокой ригидностью, и например, позволяет обслуживание на части этапа от задней стороны прибора, который не по возможности при первый блок основныа силы поддержанный на 3 этапа. Более потом, прибор состоит из блоков изоляции вибрации подключенных в серии в 2 платформах, которая имеет большое влияние подавлять вибрацию предпосылки от поверхности пола. Соответственно, выдержку с высокой точностью можно выполнить которая улучшает выход приспособлений, и уменьшенная продолжительность технического обслуживания может улучшить тариф деятельности, последовательн водя к улучшению в урожайности приспособлений как конечныйа продукт.
