Photoacid generators comprising sulfonium salt compounds represented by the
following general formula (2) wherein R.sup.1 and R.sup.2 represent each
an alkyl group optionally having oxo, or R.sup.1 and R.sup.2 may be
cyclized together to form an alkylene group optionally having oxo;
R.sup.3, R.sup.4 and R.sup.5 represent each hydrogen or a linear,
branched, monocyclic, polycyclic or crosslinked cyclic alkyl group; and
Y.sup.- represents a counter ion.
##STR1##
Οι γεννήτριες Photoacid περιλαμβάνοντας το sulfonium που οι αλατισμένες ενώσεις που αντιπροσωπεύονται από τον ακόλουθο γενικό τύπο (2) όπου R.sup.1 και R.sup.2 αντιπροσωπεύουν κάθε μια αλκυλική ομάδα προαιρετικά που έχει oxo, ή R.sup.1 και R.sup.2 μπορούν να είναι μαζί για να διαμορφώσουν μια alkylene ομάδα προαιρετικά που έχει oxo Τα R.sup.3, R.sup.4 και R.sup.5 αντιπροσωπεύουν κάθε υδρογόνο ή ένας γραμμικός, διακλαδίστηκε, monocyclic, πολυκυκλική ή διασυνδεμένη κυκλική αλκυλική ομάδα και Y.sup. - αντιπροσωπεύει ένα αντίθετο ιόν. ## STR1 ##
