An aerosol stream of particles of a conductive material is directed into a
via of an integrated circuit device to deposit the conductive material
within the via to form a via plug.
Un flusso dell'aerosol delle particelle di un materiale conduttivo รจ diretto nella a via di un dispositivo del circuito integrato per depositare il materiale conduttivo all'interno del via per formare la a via la spina.
