A line-narrowed excimer or molecular fluorine laser system includes a
discharge chamber filled with a gas mixture at least including molecular
fluorine and a buffer gas, multiple electrodes within the discharge
chamber connected to a discharge circuit for energizing the gas mixture, a
resonator including a pair of resonator reflecting surfaces disposed on
either side of the discharge chamber for generating a laser beam, and a
line-narrowing/selection unit within the resonator for narrowing the
bandwidth of the laser beam. The resonator further includes a third
reflecting surface which is deformable and disposed between the pair of
resonator reflecting surfaces. The line-narrowing/selection unit
preferably includes a beam expander and a dispersive element, wherein the
deformable third reflecting surface is disposed between the beam expander
and the dispersive element.
Γραμμή-στενεμμένο excimer ή μοριακό ένα σύστημα λέιζερ φθορίου περιλαμβάνει ένα αποχωρητήριο που γεμίζουν με ένα αέριο μίγμα τουλάχιστον συμπεριλαμβανομένου του μοριακού φθορίου και ενός απομονωτή αέριο, πολλαπλάσια ηλεκτρόδια μέσα στο αποχωρητήριο που συνδέεται με ένα κύκλωμα απαλλαγής για να ενεργοποιήσει το αέριο μίγμα, ένα αντηχείο συμπεριλαμβανομένου ενός ζευγαριού του αντηχείου που απεικονίζει τις επιφάνειες που διατίθενται από κάθε πλευρά του αποχωρητηρίου για την παραγωγή μιας ακτίνας λέιζερ, και μια μονάδα γραμμή-στενέματος/επιλογής μέσα στο αντηχείο για το στένεμα του εύρους ζώνης της ακτίνας λέιζερ. Το αντηχείο περιλαμβάνει περαιτέρω ένα τρίτο που απεικονίζει την επιφάνεια που είναι παραμορφώσιμη και διαθεμένη μεταξύ του ζευγαριού του αντηχείου που απεικονίζει τις επιφάνειες. Η μονάδα γραμμή-στενέματος/επιλογής περιλαμβάνει κατά προτίμηση έναν αποσυμπιεστή ακτίνων και ένα διασποράς στοιχείο, όπου το παραμορφώσιμο τρίτο που απεικονίζει την επιφάνεια διατίθεται μεταξύ του αποσυμπιεστή ακτίνων και του διασποράς στοιχείου.
