A two-layer structured electric power application electrode including a
non-split electrode consisting of a single planar plate and six split
electrodes arranged on the non-split electrode so as to be electrically in
contact with the non-split electrode is arranged on the upper side of a
discharge chamber provided within a vacuum container such that the power
application electrode faces a strip substrate in parallel. The split
electrodes are arranged in such a manner as to form a planar plane, and
the distance between the surfaces of the split electrodes facing the strip
substrate and the strip substrate is uniform. The total area of the
surfaces of the split electrodes facing the strip substrate is the same as
the area of the non-split electrode on which the split electrodes are
mounted. This improves the uniformity in plasma generated in the apparatus
for forming a deposited film and enables cutting-down of the costs
required to form deposited films.
Um elétrodo estruturado dois-camada da aplicação do poder elétrico including non-rachou o elétrodo que consiste em uma única placa planar e seis elétrodos rachados arranjados no non-racham o elétrodo para ser eletricamente contate dentro com non-racham o elétrodo é arranjado no lado superior de uma câmara da descarga fornecida dentro de um recipiente do vácuo tais que o elétrodo da aplicação do poder enfrenta uma carcaça da tira na paralela. Os elétrodos rachados são arranjados em tal maneira a respeito do formulário um plano planar, e a distância entre as superfícies dos elétrodos rachados que enfrentam a carcaça da tira e a carcaça da tira é uniforme. A área total das superfícies dos elétrodos rachados que enfrentam a carcaça da tira é a mesma como a área de non-rachou o elétrodo em que os elétrodos rachados são montados. Isto melhora a uniformidade no plasma gerado no instrumento para dar forma a uma película depositada e permite o corte-para baixo dos custos requeridos para dar forma a películas depositadas.
