A resist composition with enhanced X-ray and electron sensitivity includes
a plurality of chemically inert nanoparticles dispersed throughout a base
resist material. The nanoparticles have a higher atomic number than the
base resist material and each of the nanoparticles is formed by a
nanoparticle core, e.g., of a noble metal, coated with an organic capping
layer or shell. The latter renders the core dispersible and chemically
compatible with the resist material surrounding the nanoparticle. A method
of making a resist composition with enhanced X-ray and electron
sensitivity is to provide a resist material and disperse chemically inert
nanoparticles throughout the resist. The nanoparticles have a higher
atomic number than the resist and a have core/shell structure. A resist
composition with enhanced X-ray and electron sensitivity can be made by
having a nanoparticle core, with a higher atomic number than the resist,
that is coated with an organic capping layer. The nanoparticle with the
core/shell structure is then dispersed throughout the resist material.
Состав сопротивлять с увеличенной чувствительностью рентгеновского снимка и электрона вклюает множественность химически инертных nanoparticles разметанных повсеместно в основание сопротивляет материалу. Nanoparticles имеют более высокий атомный номер чем основание сопротивлять материалу и каждому из nanoparticles сформировано сердечником nanoparticle, например, благородного металла, coated с органическими покрывая слоем или раковиной. Последнее представляет сердечник dispersible и химически совместимым с сопротивлять материальным окружающ nanoparticle. Метод делать состав сопротивлять с увеличенной чувствительностью рентгеновского снимка и электрона должен обеспечить материал сопротивлять и nanoparticles disperse химически инертные в течении сопротивлять. Nanoparticles имеют более высокий атомный номер чем сопротивлять и структура иметь core/shell. Состав сопротивлять с увеличенной чувствительностью рентгеновского снимка и электрона может быть сделан путем иметь сердечник nanoparticle, с более высоким атомным номером чем сопротивлять, который покрын с органическим покрывая слоем. Nanoparticle с структурой core/shell после этого разметано повсеместно в материал сопротивлять.
