A method and apparatus are described for remote semiconductor microscopy
whereby video signals are broadcast from one or more microscopes to remote
viewers. A live video signal is broadcast from the microscope over a
network to remote personal computers located in the offices of process
engineers. The office-based process engineers are provided real-time, or
substantially real-time, views of a wafer, including peripheral views of
the wafer outside cell array boundaries. The process engineer, in his
office, can direct a technician, operating the microscope in the clean
room complex, to display a desired cell region-of-interest with the
microscope. As a result, the process engineers can more efficiently
collaborate to solve process problems or even develop new process
techniques.
Метод и прибор описаны для дистанционной микроскопии полупроводника whereby видеосигналами будут передача от one or more микроскопов к дистанционным телезрителям. Видеосигналом в реальном маштабе времени будет передача от микроскопа над сетью к дистанционным компьютерам расположенным в офисах инженер-технологов. Офис-osnovannye инженер-технологи обеспечены real-time, или существенн в реальном масштабе времени, взгляды вафли, включая периферийные взгляды границ блока клетки вафли внешних. Инженер-технолог, в его офисе, может сразу техник, работая микроскоп в чистом комплексе комнаты, для показа заданного зон-$$$-INTERESA клетки с микроскопом. В результате, инженер-технологи могут эффективно сотрудничать для того чтобы разрешить отростчатые проблемы or even начать новые отростчатые методы.
