A method for calibrating a linewidth measurement tool and a system for
calibrating the linewidth measurement tool each employ a correction of a
series of periodic actual measurements of at least one single measurement
location of a topographic feature within a linewidth standard with an
exponentially weighted moving average of a series of deviations of the
series of periodic actual measurements from a corresponding series of
regressed data points derived from mathematical regression of the series
of periodic actual measurements. Such a correction provides for a more
accurate calibration of the linewidth measurement tool and a more accurate
measurement of linewidths within microelectronic products while employing
the calibrated linewidth measurement tool.
Un metodo per la calibratura dell'attrezzo di misura di linewidth e un sistema per la calibratura della misura di linewidth lavorano ciascuno impiegano una correzione di una serie di misure reali periodiche almeno di una singola posizione di misura di una caratteristica topografica all'interno di un campione di linewidth con una media commovente esponenzialmente appesantita di una serie di deviazioni della serie di misure reali periodiche da una serie corrispondente di punti di riferimenti regrediti derivati da regressione matematica della serie di misure reali periodiche. Una tal correzione prevede una calibratura più esatta dell'attrezzo di misura di linewidth e una misura più esatta dei linewidths all'interno dei prodotti microelettronici mentre impiega l'attrezzo calibrato di misura di linewidth.
