A scanning probe microscopy (SPM) inspection and/or modification system
which uses SPM technology and techniques. The system includes various
types of microstructured SPM probes for inspection and/or modification of
the object. The components of the SPM system include microstructured
calibration structures. A probe may be defective because of wear or
because of fabrication errors. Various types of reference measurements of
the calibration structure are made with the probe or vice versa to
calibrate it. The components of the SPM system further include one or more
tip machining structures. At these structures, material of the tips of the
SPM probes may be machined by abrasively lapping and chemically lapping
the material of the tip with the tip machining structures.
Ein Kontrolle und/oder Änderung der Abtastungprüfspitze Mikroskopie (SPM) System, das SPM Technologie und Techniken verwendet. Das System schließt verschiedene Arten von microstructured SPM Prüfspitzen für Kontrolle und/oder Änderung des Gegenstandes ein. Die Bestandteile des SPM Systems schließen microstructured Kalibrierung Strukturen ein. Eine Prüfspitze kann wegen der Abnutzung oder wegen der Herstellung Störungen defekt sein. Verschiedene Arten der Bezugsmaße der Kalibrierung Struktur werden mit der Prüfspitze oder umgekehrt, sie zu kalibrieren gebildet. Die Bestandteile des weiteren SPM Systems schließen eins oder mehr bearbeitenstrukturen der Spitze mit ein. An diesen Strukturen kann Material der Spitzen der SPM Prüfspitzen bearbeitet werden, indem man abschleifend einhüllt und chemisch das Material der Spitze mit den bearbeitenstrukturen der Spitze einhüllt.
