One or more highly-oriented, multi-walled carbon nanotubes are grown on an
outer surface of a substrate initially disposed with a catalyst film or
catalyst nano-dot by plasma enhanced hot filament chemical vapor
deposition of a carbon source gas and a catalyst gas at temperatures
between 300.degree. C. and 3000.degree. C. The carbon nanotubes range from
4 to 500 nm in diameter and 0.1 to 50 .mu.m in length depending on growth
conditions. Carbon nanotube density can exceed 10.sup.4
nanotubes/mm.sup.2. Acetylene is used as the carbon source gas, and
ammonia is used as the catalyst gas. Plasma intensity, carbon source gas
to catalyst gas ratio and their flow rates, catalyst film thickness, and
temperature of chemical vapor deposition affect the lengths, diameters,
density, and uniformity of the carbon nanotubes. The carbon nanotubes of
the present invention are useful in electrochemical applications as well
as in electron emission, structural composite, material storage, and
microelectrode applications.
Hoogst-georiënteerd één of meer, de multi-ommuurde koolstof worden nanotubes op een buitenoppervlakte van een substraat gekweekt dat aanvankelijk met een katalysatorfilm of een katalysator nano-punt door het plasma verbeterde hete deposito van de gloeidraad chemische damp van een koolstof brongas en een katalysatorgas bij temperaturen tussen 300.degree. C. en 3000.degree. C wordt geschikt. De koolstof nanotubes strekt zich van 4 uit tot 500 NM in diameter en mu.m 0,1 tot 50 in lengte afhankelijk van de groeivoorwaarden. De dichtheid van de koolstof nanotube kan Acetylene overschrijden 10.sup.4 nanotubes/mm.sup.2. wordt gebruikt als koolstof brongas, en de ammoniak wordt gebruikt als katalysatorgas. De intensiteit van het plasma, koolstof het brongas aan de verhouding van het katalysatorgas en hun stroomtarieven, dikte van de katalysatorfilm, en temperatuur van chemische dampdeposito beïnvloeden de lengten, de diameters, de dichtheid, en de uniformiteit van de koolstof nanotubes. De koolstof nanotubes van de onderhavige uitvinding is nuttig in elektrochemische toepassingen evenals in elektronenemissie, structurele samengestelde, materiële opslag, en micro-elektrodetoepassingen.
