A wafer cluster tool is described which operates in a regular, periodic
fashion. Embodiments of the invention have a periodicity of one sending
period. The invention enables the determination of pick-up times for
process chambers in the cluster tool, and embodiments of the invention
allow the creation and maintenance of an updated timetable. The timetable
indicates times when each of the process chambers is to be serviced. These
values are updated as the process chambers receive new wafers. Robots in
the cluster tool may pre-position themselves in front of modules, or
process chambers, to be served. Robot pre-positioning eliminates the wait
time of individual modules beyond queue times which have been
pre-determined for the modules. This renders the path of the individual
robots pre-deterministic, and enables the cluster tool to utilize single
gripper robots.
Een hulpmiddel van de wafeltjecluster wordt beschreven dat op een regelmatige, periodieke manier werkt. De belichamingen van de uitvinding hebben een periodiciteit van één verzendend periode. De uitvinding laat de bepaling van oogsttijden voor toe proceskamers in het clusterhulpmiddel, en de belichamingen van de uitvinding staan de verwezenlijking en het behoud van een bijgewerkt tijdschema toe. Het tijdschema wijst op tijden wanneer elk van de proceskamers moet worden onderhouden. Deze waarden worden bijgewerkt aangezien de proceskamers nieuwe wafeltjes ontvangen. De robots in het clusterhulpmiddel kunnen pre-position voor modules, of te dienen proceskamers. Het pre-positioning van de robot elimineert de wachttijdtijd van individuele modules voorbij rijtijden die voor de modules vooraf zijn bepaald. Dit maakt de weg van de individuele robots pre-deterministisch, en laat het clusterhulpmiddel toe om enige tangrobots te gebruiken.
