A probe for a scanning probe microscope has a cantilever portion and a
microscopic probe portion formed of a solid columnar tip at a distal end
of the cantilever portion by deposition using an organic gas decomposed by
a focused ion beam inside a vacuum chamber. The probe is sufficiently
narrow and has high abrasion resistance and rigidity. The tip may be grown
to extend from the cantilever portion at an angle shifted by an angle at
which the cantilever portion is inclined during scanning of the probe
portion across a sample surface, so that the columnar tip is perpendicular
to the sample surface during the scanning. The tip may be formed of a
conductive material such as tungsten of diamond-like carbon by FIB-CVD.
Una punta de prueba para un microscopio de la punta de prueba de la exploración tiene una porción voladiza y una porción microscópica de la punta de prueba formadas de una extremidad acolumnada sólida en un extremo distal de la porción voladiza por la deposición usando un gas orgánico descompuesto por una viga de ion enfocada dentro de un compartimiento del vacío. La punta de prueba es suficientemente estrecha y tiene altas resistencia y rigidez de la abrasión. La extremidad se puede crecer para extender de la porción voladiza en ángulo cambiada de puesto por un ángulo a el cual la porción voladiza esté inclinada durante la exploración de la porción de la punta de prueba a través de una superficie de la muestra, de modo que la extremidad acolumnada sea perpendicular a la superficie de la muestra durante la exploración. La extremidad se puede formar de un material conductor tal como tungsteno diamante-como del carbón por FIB-CVD.
