In one embodiment, a method for forming the sensor comprises: disposing
capacitance electrodes and a heater on green layers; disposing the layers
such that the capacitance electrodes are disposed between adjacent green
layers and the heater is disposed on a side of a green layer opposite one
of the capacitance electrodes; disposing a gap insert in physical contact
with the capacitance electrodes, wherein the gap insert has a higher
sintering temperature than the green layers; sintering the green layers;
and removing the gap insert.
В одном воплощении, метод для формировать датчик состоит из: размещать электроды емкости и подогреватель на зеленых слоях; размещающ слои такое что электроды емкости размещаны между смежными зелеными слоями и подогревателем размещано на стороне зеленого слоя напротив одного из электродов емкости; размещающ зазор введите в физический контакт с электродами емкости, при котором вставка зазора имеет более высокую температуру спекать чем зеленые слои; спекать слои зеленого цвета; и извлекающ вставку зазора.
