A substrate holding device includes a base member capable of removably
holding a plate having a contact member to come into contact with a
substrate. The base member flatten-corrects the plate by suctioning the
plate. The substrate holding device further includes a first attracting
mechanism that attracts the substrate onto the plate in a status such that
the plate is held on the base member, and a second attraction mechanism
that attracts the plate onto the base member.
Субстрат держа приспособление вклюает низкопробный член способный съемно держать плиту имея член контакта для того чтобы come into контакт с субстратом. Низкопробный член сплющивать-ispravl4et плиту путем suctioning плита. Субстрат держа приспособление более дальнейшей вклюает первый привлекая механизм привлекает субстрат на плиту в состоянии такие что плита держится на низкопробном члене, и второй механизм привлекательности который привлекает плиту на низкопробный член.
