The present invention comprises tunable optical wavelength filters and
multi-level optical integrated circuits which use resonant optical
cavities in a vertical arrangement with input and output waveguides. The
resonant optical cavities are vertically separated from the input and
output waveguides by a material or region of lower refeactive index. The
vertical arrangement allows accurate control over the gap size between the
waveguides and the cavities during manufacture. The present invention also
enables the use of electrodes for enhancing tuning characteristics and for
multiple tunable optical wavelength filters to be created in vertical
alignment with one another by placing two resonant optical cavities and
their respective input and output waveguides in vertical alignment with a
low refractive index buffer between the multiple tunable optical
wavelength filters. In addition, the present invention includes multiple
manufacturing methods in which tunable optical wavelength filters are
created on different substrates.
De onderhavige uitvinding bestaat uit melodieuze optische golflengtefilters en optische geïntegreerde schakelingen op verscheidene niveaus die resonerende optische holten in een verticale regeling met input en outputgolfgeleiders gebruiken. De resonerende optische holten worden verticaal gescheiden van de input en outputgolfgeleiders door een materiaal of een gebied van lagere refeactive index. De verticale regeling staat nauwkeurige controle over de hiaatgrootte tussen de golfgeleiders en de holten tijdens vervaardiging toe. De onderhavige uitvinding laat ook dat het gebruik van elektroden voor het verbeteren van het stemmen kenmerken en voor veelvoudige melodieuze optische golflengtefilters toe worden tot stand gebracht in verticale groepering met elkaar door twee resonerende optische holten en hun respectieve input en outputgolfgeleiders in verticale groepering met een lage r i buffer tussen de veelvoudige melodieuze optische golflengtefilters te plaatsen. Bovendien omvat de onderhavige uitvinding veelvoudige productiemethodes waarin de melodieuze optische golflengtefilters op verschillende substraten worden gecreeerd.
