A gas analyzer for a semiconductor treater improved to be capable of
monitoring leakage or change of gas composition influencing treatability
of the semiconductor treater in situ is provided. A duct is provided on
the outer wall of a chamber of the semiconductor treater for taking out
gas to be analyzed from the chamber. A gas analytic chamber stores the gas
to be analyzed taken out through the duct. A discharge formation part is
mounted in the vicinity of the gas analytic chamber. The discharge
formation part includes a high frequency generation coil generating a high
frequency and forming a plasma of the gas to be analyzed in the gas
analytic chamber. This gas analyzer further comprises a spectrometer
analyzing the emission wavelength of the plasma of the gas to be analyzed.
Газоанализатор для treater полупроводника улучшил для того чтобы быть способен контролировать утечку или обеспечено изменение газового состава влияя на treatability treater полупроводника in situ. Трубопровод обеспечен на наружной стене камеры treater полупроводника для принимать из газа, котор нужно проанализировать от камеры. Камера газа аналитически хранит газ, котор нужно проанализировать принятым вне через трубопровод. Часть образования разрядки установлена в близости камеры газа аналитически. Часть образования разрядки вклюает высокочастотную катушку поколения производя высокую частоту и формируя плазму газа, котор нужно проанализировать в камере газа аналитически. Этот газоанализатор более дальнейший состоит из спектрометра анализируя длину волны излучения плазмы газа, котор нужно проанализировать.
