Emissivity of a substrate is measured at least before the substrate is
heated, heating operation of the substrate is controlled under a heating
condition corresponding to the emissivity, and the substrate is processed.
Измерена лучеиспускаемость субстрата по крайней мере прежде чем субстрат нагрет, деятельность топления субстрата controlled под условием топления соответствуя к лучеиспускаемости, и субстрат обработан.
