Method and apparatus for optical scanning capable of reducing a dot position displacement and a dot diameter variation

   
   

An optical scanning apparatus including a pulse modulation mechanism, a laser light source, a light deflecting mechanism, and a scan-imaging device. The pulse modulation mechanism performs a pulse modulation to input image data to output pulse-modulated image data. The laser light source generates a laser light beam according to the pulse-modulated image data. The laser light beam has a wavelength variation smaller than 2.0 nm per one pulse of the laser light beam. The light deflecting mechanism converts the laser light beam into a scanning laser light beam. The scan-imaging device condenses the scanning laser light beam into a scanning light spot on a surface to be scanned.

Een optisch aftastenapparaat met inbegrip van een mechanisme van de impulsmodulatie, een laser lichtbron, een licht doend afwijken mechanisme, en een aftasten-weergave apparaat. Het mechanisme van de impulsmodulatie voert een impulsmodulatie aan de gegevens van het inputbeeld aan uit output impuls-gemoduleerde beeldgegevens. De laser lichtbron produceert een laser lichtstraal volgens de impuls-gemoduleerde beeldgegevens. De laser lichtstraal heeft een golflengtevariatie kleiner dan 2,0 NM per één impuls van de laser lichtstraal. Het lichte doende afwijken mechanisme zet de laser lichtstraal in een lichtstraal van de aftastenlaser om. Condenseert het aftasten-weergave apparaat de lichtstraal van de aftastenlaser in een aftasten lichte vlek op een af te tasten oppervlakte.

 
Web www.patentalert.com

< STAGE APPARATUS WHICH SUPPORTS INTERFEROMETER, STAGE POSITION MEASUREMENT METHOD, PROJECTION EXPOSURE APPARATUS, PROJECTION EXPOSURE APPARATUS MAINTENANCE METHOD, SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACTORY

< Biochip reader

> Microscope for reflected-light and transmitted-light microscopy

> Light source device

~ 00167