There is provided an edge rinse apparatus and an edge rinse method in which
a swelling of an end portion of a resist produced by an edge rinse is
eliminated. The resist coated on an unnecessary portion is exposed and is
developed by using the edge rinse apparatus including a substrate chuck
for sucking and holding a substrate, a motor for rotating the substrate
chuck, a nozzle for discharging a developing solution to a principal
surface of the substrate, a nozzle for discharging the developing solution
to a rear surface of the substrate, and an exposure means with the
substrate chuck as a mask.
Обеспечено прибору rinse края и исключен метод rinse края в запухание части конца сопротивлять произвело rinse края. Сопротивлять покрынный на ненужной части подвергается действию и начинается путем использование прибора rinse края включая chuck субстрата для всасывать и держать субстрат, мотор для поворачивать chuck субстрата, сопло для разрядки превращаясь разрешения к главным образом поверхности субстрата, сопло для разрядки превращаясь разрешения к задней поверхности субстрата, и середины выдержки с chuck субстрата как маска.
