Methods are disclosed for fabricating spring structures that minimize
helical twisting by reducing or eliminating stress anisotropy in the thin
films from which the springs are formed through manipulation of the
fabrication process parameters and/or spring material compositions. In one
embodiment, isotropic internal stress is achieved by manipulating the
fabrication parameters (i.e., temperature, pressure, and electrical bias)
during spring material film information to generate the tensile or
compressive stress at the saturation point of the spring material. Methods
are also disclosed for tuning the saturation point through the use of high
temperature or the incorporation of softening metals. In other
embodiments, isotropic internal stress is generated through randomized
deposition (e.g., pressure homogenization) or directed deposition
techniques (e.g., biased sputtering, pulse sputtering, or long throw
sputtering). Cluster tools are used to separate the deposition of release
and spring materials.
Os métodos são divulgados para as estruturas fabricando da mola que minimizam a torção helicoidal reduzindo ou eliminando o anisotropy do stress nas películas finas de que as molas são dadas forma com a manipulação dos parâmetros do processo da fabricação e/ou das composições do material da mola. Em uma incorporação, o stress interno isotropic é conseguido manipulando os parâmetros da fabricação (isto é, temperatura, pressão, e polarização elétrica) durante a informação material da película da mola para gerar o stress tensile ou compressive no ponto de saturation do material da mola. Os métodos são divulgados também ajustando o ponto de saturation com o uso da alta temperatura ou a incorporação de metais amaciando. Em outras incorporações, o stress interno isotropic é gerado com o deposition randomized (por exemplo, homogenization da pressão) ou as técnicas dirigidas do deposition (por exemplo, sputtering inclinado, pulso que sputtering, ou throw longo que sputtering). As ferramentas do conjunto são usadas separar o deposition de materiais da liberação e da mola.
