A method and apparatus for numerically analyzing a growth degree of grains
grown on a surface of a semiconductor wafer, in which the growth degree of
grains is automatically calculated and numerated through a computer by
using an image file of the surface of the semiconductor wafer scanned by
an SEM. A predetermined portion of a surface of the wafer is scanned using
the SEM, and the scanned SEM image is simultaneously stored into a
database. An automatic numerical program applies meshes to an analysis
screen frame and selects an analysis area on a measured image. Thereafter,
a smoothing process for reducing an influence of noise is performed on
respective pixels designated by the meshes using an average value of image
data of adjacent pixels. A standardization process is then performed,
based on respective images in order to remove a brightness difference
between the measured images. After comparing standardized image data
values of the respective pixels with a predetermined threshold value, the
number of pixels whose standardized image data value is greater than the
threshold value is counted. The growth degree of grains on the surface of
the wafer is calculated by numerating a ratio of the counted number with
respect to a total number of the pixels contained within the analysis
target image.
Een methode en een apparaat om een de groeigraad korrels numeriek te analyseren die op een oppervlakte van een halfgeleiderwafeltje worden gekweekt, waarin de de groeigraad van korrels automatisch wordt berekend en door een computer door een beelddossier van de oppervlakte van het halfgeleiderwafeltje numerated te gebruiken dat door SEM wordt afgetast. Een vooraf bepaald gedeelte van een oppervlakte van het wafeltje wordt afgetast gebruikend SEM, en het afgetaste SEM beeld wordt gelijktijdig opgeslagen in een gegevensbestand. Een automatisch numeriek programma past netwerk op een kader van het analysescherm toe en selecteert een analysegebied op een gemeten beeld. Daarna, wordt een gladmakend proces om een invloed van lawaai te verminderen uitgevoerd op respectieve pixel die door het netwerk worden aangewezen gebruikend een gemiddelde waarde van beeldgegevens van aangrenzende pixel. Een normalisatieproces wordt dan uitgevoerd, gebaseerd op respectieve beelden om een helderheidsverschil tussen de gemeten beelden te verwijderen. Na het vergelijken van de gestandaardiseerde waarden van beeldgegevens van de respectieve pixel met een vooraf bepaalde drempelwaarde, wordt het aantal pixel de waarvan gestandaardiseerde waarde van beeldgegevens groter is dan de drempelwaarde geteld. De de groeigraad van korrels op de oppervlakte van het wafeltje wordt berekend door een verhouding van het getelde aantal met betrekking tot een totaal aantal pixel numerating bevat binnen het beeld van het analysedoel.
