Electroacoustic transducer, process of producing the same and electroacoustic transducing device using the same

   
   

An electroacoustic transducer comprises: a lower electrode; an upper electrode including an oscillation portion and a support portion for supporting the oscillation portion at least at a part of a periphery of the oscillation portion; and an insulating layer for insulating the lower electrode from the upper electrode, wherein the upper electrode has an up and down in the oscillation portion and/or in the support portion to provide a cavity between the upper electrode and the lower electrode.

Un trasduttore electroacoustic contiene: un elettrodo più basso; un elettrodo superiore compreso una parte di oscillazione e una parte di sostegno per il sostegno della parte di oscillazione almeno ad una parte di una periferia della parte di oscillazione; e uno strato isolante per isolare l'elettrodo più basso dall'elettrodo superiore, in cui l'elettrodo superiore ha su e giù dentro la parte di oscillazione e/o nella parte di sostegno per fornire una cavità fra l'elettrodo superiore e l'elettrodo più basso.

 
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