Linear motor and stage apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method using the same

   
   

A linear motor includes a magnet array having a plurality of first magnets arrayed such that polarization directions thereof are periodically opposite, and a plurality of second magnets arrayed such that polarization directions thereof are periodically opposite and intersect those of the first magnets. The linear motor further includes an electromagnetic coil disposed to oppose the magnet array to generate a Lorentz force in cooperation with the magnet array and a yoke integrated with the coil at a first side opposite to a second side of the coil disposed opposite to the magnet array.

Ein linearer Motor schließt eine Magnetreihe ein, die eine Mehrzahl der ersten Magneten hat, kleidete so, daß Polarisationrichtungen davon regelmäßig gegenüber von sind, und eine Mehrzahl der zweiten Magneten kleidete so, daß Polarisationrichtungen davon regelmäßig gegenüber von sind und schneidet die der ersten Magneten. Der lineare Motor, der weiter ist, schließt eine elektromagnetische Spule mit ein, die abgeschaffen wird, um der Magnetreihe entgegenzusetzen, um eine Lorentz Kraft in Zusammenarbeit mit der Magnetreihe und ein Joch zu erzeugen, die mit der Spule an einer ersten Seite gegenüber einer zweiten Seite der Spule integriert wird, die gegenüber der Magnetreihe abgeschaffen wird.

 
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