A method for forming an optical thin film on a substrate comprises the
steps of preparing a sol solution containing minute particles for an
optical element dispersed in a dispersion medium, putting the prepared sol
solution in a tightly closable vessel to heat and pressurize the sol
solution, and then applying the heated and pressurized sol solution onto
an optical substrate. The obtained thin film has a refractive index of
1.16 with respect to a light beam having a wavelength of 193 nm, in which
the transmission loss is not more than 0.5%. An optical lens including the
optical thin film formed on the surface, and an exposure apparatus
including the lens provided for a projection optical system or an
illumination system are provided.
Μια μέθοδος για μια οπτική λεπτή ταινία σε ένα υπόστρωμα περιλαμβάνει τα βήματα της προετοιμασίας μιας λύσης κολλοειδούς διαλύματος που περιέχει τα μικρά μόρια για ένα οπτικό στοιχείο που διασκορπίζεται σε ένα μέσο διασποράς, που βάζει την έτοιμη λύση κολλοειδούς διαλύματος σε ένα στενά closable σκάφος για να θερμάνει και να διατηρήσει σταθερή ατμοσφαιρική πίεση τη λύση κολλοειδούς διαλύματος, και έπειτα που εφαρμόζει τη θερμαμένη και διατηρημένη σταθερή ατμοσφαιρική πίεση λύση κολλοειδούς διαλύματος επάνω σε ένα οπτικό υπόστρωμα. Η αποκτηθείσα λεπτή ταινία έχει έναν διαθλαστικό δείκτη 1,16 όσον αφορά μια ελαφριά ακτίνα που έχει ένα μήκος κύματος 193 NM, στα οποία η απώλεια μετάδοσης είναι όχι περισσότερο από 0,5%. Ένας οπτικός φακός συμπεριλαμβανομένης της οπτικής λεπτής ταινίας που διαμορφώνεται στην επιφάνεια, και μια συσκευή έκθεσης συμπεριλαμβανομένου του φακού που παρέχεται για ένα οπτικό σύστημα προβολής ή ένα σύστημα φωτισμού παρέχονται.
