Micromirror devices, especially for use in digital projection are
disclosed. Other applications are contemplated as well. The devices employ
a superstructure that includes a mirror supported over a hinge set above a
substructure. Various improvements to the superstructure over known
micromirror devices are provided. The features described are applicable to
improve manufacturability, enable further miniaturization of the elements
and/or to increase relative light return. Devices can be produced
utilizing the various optional features described herein, possibly
offering cost savings, lower power consumption, and higher resolution.
I dispositivi di Micromirror, particolarmente per uso nella proiezione digitale sono rilevati. Altre applicazioni sono contemplate pure. I dispositivi impiegano una sovrastruttura che include uno specchio sostenuto sopra una cerniera regolata sopra una sottostruttura. I vari miglioramenti ai dispositivi di micromirror conosciuti eccedenza della sovrastruttura sono forniti. Le caratteristiche descritte sono applicabili migliorare il manufacturability, permettono ulteriore minaturizzazione degli elementi e/o aumentare il ritorno relativo della luce. I dispositivi possono essere prodotti utilizzando le varie caratteristiche facoltative descritte qui, riduzioni dei costi possibilmente di offerta, assorbimento di corrente di energia più basso e più alta risoluzione.
