Method for detecting defects in a material and a system for accomplishing the same

   
   

The present invention provides a method for detecting defects in a material and a system for accomplishing the same. The method includes obtaining an image of at least a portion of a material's surface and converting the image into an intensity profile. The method further includes determining a defect in the material's surface from the intensity profile. In one exemplary embodiment, the image is an electron image obtained using a scanning electron microscope. The method may further be used to determine a defect density in the material's surface.

La présente invention fournit une méthode pour détecter des défauts dans un matériel et un système pour accomplir la même chose. La méthode inclut obtenir une image au moins d'une partie d'une surface du matériau et convertir l'image en profil d'intensité. La méthode autre inclut déterminer un défaut dans la surface du matériau du profil d'intensité. Dans une incorporation exemplaire, l'image est une image d'électron obtenue en utilisant un microscope électronique de balayage. La méthode peut plus loin être employée pour déterminer une densité de défaut dans la surface du matériau.

 
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< Image processing method and image processing apparatus

< Image merging apparatus

> Picture feature extraction device, picture retrieving device, and methods thereof for picture feature extraction and retrieving picture

> Method of sorting out defect-free workpiece

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