The present invention provides a method for detecting defects in a material
and a system for accomplishing the same. The method includes obtaining an
image of at least a portion of a material's surface and converting the
image into an intensity profile. The method further includes determining a
defect in the material's surface from the intensity profile. In one
exemplary embodiment, the image is an electron image obtained using a
scanning electron microscope. The method may further be used to determine
a defect density in the material's surface.
La présente invention fournit une méthode pour détecter des défauts dans un matériel et un système pour accomplir la même chose. La méthode inclut obtenir une image au moins d'une partie d'une surface du matériau et convertir l'image en profil d'intensité. La méthode autre inclut déterminer un défaut dans la surface du matériau du profil d'intensité. Dans une incorporation exemplaire, l'image est une image d'électron obtenue en utilisant un microscope électronique de balayage. La méthode peut plus loin être employée pour déterminer une densité de défaut dans la surface du matériau.
