A micro-electrical-mechanical system (MEMS) device and a method of
manufacture therefor. The micro-electrical-mechanical system includes a
reflective element and a reflective element actuator located adjacent a
perimeter of the reflective element and outside a path of motion of the
reflective element.
Un dispositivo micro-elettrico-meccanico del sistema (MEMS) e un metodo della fabbricazione per questo. Il sistema micro-elettrico-meccanico include un elemento riflettente e un adiacente individuato azionatore riflettente dell'elemento un perimetro dell'elemento e della parte esterna riflettenti un percorso di movimento dell'elemento riflettente.
