A center robot is fixed approximately in a central portion of a process
part. A coating unit, a drying unit, a transfer unit, a peeling unit, a
film supplying unit and a reversing unit are arranged around the center
robot. The center robot comprises a hand-for-substrate and a hand-for-film
which are allowed to directly access the respective units. Within a
process part, the center robot transports a sheet film and/or a substrate
between the coating unit, the drying unit, the transfer unit and the film
supplying unit, and a thin film is formed on the substrate using the sheet
film.
Un robot central est fixé approximativement dans une partie centrale d'une partie de processus. Une unité enduisante, une unité de séchage, une unité de transfert, une unité d'épluchage, une unité d'approvisionnement de film et une unité s'inversante sont arrangées autour du robot central. Le robot central comporte un main-pour-substrat et un main-pour-film qui sont permis d'accéder directement aux unités respectives. Dans une partie de processus, le robot central transporte un film de feuille et/ou un substrat entre l'unité enduisante, l'unité de séchage, l'unité de transfert et l'unité d'approvisionnement de film, et une couche mince est formée sur le substrat en utilisant le film de feuille.
