A method for detecting on a substrate used in the fabrication of
integrated devices comprises the steps of (1) contacting the substrate
with a monomer, wherein the particle catalyzes the polymerization of the
monomer, and (2) detecting the particle using a particle counter.
Different types of particles may be distinguished through their different
polymerization rates of the monomer. Accordingly, in some certain
embodiments, steps (1) and (2) may be repeated, allowing the growth rates
of the particles to be determined. A plurality of monomers may be
employed to identify different types of particles on the same substrate.
The method is useful in detecting copper particles on silicon substrates.
Eine Methode für das Ermitteln auf einem Substrat, das in der Herstellung der integrierten Vorrichtungen benutzt wird, enthält die Schritte (1) vom In Verbindung treten mit dem Substrat mit einer Monomere, worin der Partikel die Polymerisierung der Monomere katalysiert, und (2), den Partikel mit einem Partikelkostenzähler ermittelnd. Unterschiedliche Arten der Partikel können durch ihre unterschiedliche Polymerisierungrate der Monomere bemerkenswert sein. Dementsprechend in einigen bestimmten Verkörperungen, können Schritte (1) und (2) wiederholt werden und erlauben, daß die Wachstumsraten der Partikel festgestellt werden. Eine Mehrzahl der Monomeren kann eingesetzt werden, um unterschiedliche Arten der Partikel auf dem gleichen Substrat zu kennzeichnen. Die Methode ist nützlich, wenn man kupferne Partikel auf Silikonsubstraten ermittelt.
