A method for determining physical properties of micromachined cantilevers
used in cantilever-based instruments, including atomic force microscopes,
molecular force probe instruments and chemical or biological sensing
probes. The properties that may be so determined include optical lever
sensitivity, cantilever spring constant and cantilever-sample separation.
Cantilevers characterized with the method may be used to determine fluid
flow rates. The method is based on measurements of cantilever deflection
resulting from drag force as the cantilever is moved through fluid.
Unlike other methods for determining such physical properties of
cantilevers, the method described does not depend on cantilever contact
with a well-defined rigid surface. Consequently, the method may be
employed in situations where such contact is undesirable or inconvenient.
The method has numerous applications, including molecular force
measurements, atomic force microscopy and manipulation technology,
chemical or biological sensing, [lithographic manufacturing, nanometer
scale surface profiling] and other aspects of nanotechnology.
Метод для обусловливать физические свойства micromachined cantilevers используемые в консольн-osnovannyx аппаратурах, включая атомные микроскопы усилия, молекулярных аппаратурах зонда усилия и химически или биологических воспринимая зондах. Свойства могут быть поэтому после того как я обусловлены вклюают оптически чувствительность рукоятки, консольную константу весны и разъединение консольн-obrazqa. Cantilevers, котор характеризуют с методом может быть использовано для того чтобы обусловить жидкие тарифы подачи. Метод основан на измерениях консольного отклонения приводящ к от усилия сопротивления по мере того как консольное двинуто через жидкость. Не похоже на другим методам для обусловливать такие физические свойства cantilevers, описанный метод не зависит на консольном контакте с well-defined твердой поверхностью. Следовательно, метод может быть использован в ситуациях где такой контакт нежелателен или неудобн. Метод имеет многочисленн применения, включая молекулярные измерения усилия, атомную микроскопию усилия и аспекты технологии манипуляции, химически или биологических воспринимая, [ литографское изготавливание, профилировать маштаба нанометра поверхностный ] и другие nanotechnology.
