A photo-chemical remediation of Cu-CMP waste streams basically includes
the following acts: adding photo-catalyst particles into waste streams
containing copper ions and organic pollutants and exposing the waste
streams to UV light or sunlight to make copper ions become deposited on
surfaces of the photo-catalyst particles. Whereby, the copper ions are
removed from the waste streams. Meanwhile, organic and inorganic
pollutants are decomposed by the photolysis capability of the
photo-catalyst to make the waste streams dischargable within
environmental standards to the environment.
Une remédiation photochimique des jets de rebut de Cu-CMP inclut fondamentalement les actes suivants : ajouter des particules de photo-catalyseur dans les jets de rebut contenant les ions de cuivre et les polluants organiques et exposant les jets de rebut à la lumière UV ou à la lumière du soleil pour faire les ions de cuivre devenir a déposé sur des surfaces des particules de photo-catalyseur. Par lequel, les ions de cuivre soient enlevés des jets de rebut. En attendant, des polluants organiques et inorganiques sont décomposés par les possibilités de photodécomposition du photo-catalyseur pour rendre les jets de rebut dischargable dans des normes environnementales à l'environnement.
