In accordance with an embodiment of the invention, a method for measuring
pitch in data obtained from metrology and imaging systems is provided. A
data set from a metrology or imaging instrument is obtained. The data set
is converted into digital format if not already in that format. The
digitized data set is mapped into a one-dimensional profile data if the
digitized data set is not already one-dimensional. The one-dimensional
profile data denoted by f(x) is a function of x position values
corresponding to equally spaced or nearly equally spaced pixels. A
criteria function g(T) is constructed as a one-dimensional data array from
the profile data f(x) or any of its derivatives and a translation of the
profile data f(x) denote by f(x+T) or any of its derivatives. Here, T
represents the amount of translation, and g(T) is a function of T
translation values corresponding to equally spaced or nearly equally
spaced pixels. A value of translation T is then determined either as a
whole pixel or with subpixel interpolation such that the magnitude of g(T)
would be either a maximum or a minimum whichever appropriate at said
value, wherein the determined value is not zero. The determined value is
then reported as the pitch in the data set.
In conformità con un metodo di realizzazione dell'invenzione, un metodo per la misurazione del passo nei dati ottenuti dai sistemi di formazione immagine e di metrologia è fornito. Un insieme di dati da uno strumento di formazione immagine o di metrologia è ottenuto. L'insieme di dati è convertito in disposizione digitale se non già in quella disposizione. L'insieme di dati dato valori numerici a è tracciato nei dati unidimensionali di profilo se l'insieme di dati dato valori numerici a non è già unidimensionale. I dati unidimensionali di profilo denotati da f(x) sono una funzione dei valori di posizione di x che corrispondono ai pixel equidistanti o quasi equidistanti. Un g(T) di funzione di test di verifica è costruito come allineamento unidimensionale di dati dal f(x) di dati di profilo o c'è ne dei relativi derivati e una traduzione del f(x) di dati di profilo denotano da f(x+T) o da c'è ne dei relativi derivati. Qui, la T rappresenta la quantità di traduzione ed il g(T) è una funzione dei valori di traduzione di T che corrispondono ai pixel equidistanti o quasi equidistanti. Un valore della traduzione T allora è o nell'insieme pixel determinato o con interpolazione del subpixel tali che la grandezza di g(T) sia stata un massimo o un minimo quale adatto a valore detto, in cui il valore risoluto non è zero. Il valore risoluto allora è segnalato come il passo nell'insieme di dati.
