To obtain an optical waveguide device suppressed in fluctuations of
characteristics of optical waveguide element due to temperature changes.
An arrayed waveguide grating as an optical waveguide device comprises a
flat waveguide element of specified thickness h.sub.0 forming an optical
waveguide layer on a silicon substrate, a first correction substrate of
thickness h1 adhered to the optical waveguide layer side, and a second
correction substrate of thickness h.sub.4 adhered to the silicon substrate
side. By properly setting the coefficients of linear expansion
.alpha..sub.1, .alpha..sub.4 and Young's moduls E.sub.1, E.sub.4 of the
two correction substrates, and using first and second adhesives of high
rigidity, warp and expansion and contraction of the waveguide element due
to temperature changes can be suppressed to minimum limit. Therefore, the
optical waveguide device does not require temperature adjustment.
Para obter um dispositivo ótico do waveguide suprimido nas flutuações das características do elemento ótico do waveguide devido às mudanças de temperatura. Um grating posto do waveguide como um dispositivo ótico do waveguide compreende um elemento liso do waveguide da espessura especificada h.sub.0 que dá forma a uma camada ótica do waveguide em uma carcaça do silicone, em uma primeira carcaça da correção da espessura h1 aderida ao lado ótico da camada do waveguide, e em uma segunda carcaça da correção da espessura h.sub.4 aderida ao lado da carcaça do silicone. Corretamente ajustando os coeficientes do alpha..sub.1 linear da expansão, o alpha..sub.4 e os moduls young's E.sub.1, o E.sub.4 das duas carcaças da correção, e usar-se primeiramente e os segundos adesivos da rigidez elevada, a urdidura e a expansão e a contração do elemento do waveguide devido às mudanças de temperatura podem ser suprimidos ao limite mínimo. Conseqüentemente, o dispositivo ótico do waveguide não requer o ajuste da temperatura.